三轴牧野 PS105 精密数控加工设备,专为半导体流体控制零部件定制加工打造,三轴行程匹配中小型精密阀体、气路接头、高纯流体模组加工需求,机床微米级定位精度,高刚性床身抑制切削形变,阳极氧化铝、不锈钢、合金材质均可稳定铣削、钻孔、攻丝。
设备适配半导体电子特气输送阀、晶圆清洗流体接头、真空管路调压组件等核心零部件量产,可完成复杂多面孔位、密封流道、定位安装孔一体化成型;加工成品低粗糙度、尺寸一致性强,适配长鑫存储、中芯国际等晶圆厂上游精密流体配件生产。
搭配标准化工装治具,支持批量连续生产,能满足半导体行业高纯、无泄漏、高精度零部件加工标准,是半导体流体控制零件加工主力设备。