半导体设备固定安装支架
适配 PECVD、刻蚀、薄膜沉积等半导体晶圆设备,作为腔体模组、流体阀块、匀气盘的标准承载固定件,依靠高强度支撑结构稳定定位精密元器件,保障产线设备长期连续运行,兼顾安装便捷性与结构稳定性,满足晶圆工厂大批量、高洁净度生产配套需求。
产品三大核心特点
1. 高强度结构稳定性
一体折弯加强筋结构设计,承重抗形变,安装孔位尺寸微米级加工精度,长期真空工况下无位移、无松动,适配各类半导体精密模组固定装配。
2. 超高洁净表面处理
全流程去毛刺、抛光钝化工艺,无金属碎屑、无油污残留,可阳极氧化本色 / 金色 / 红色处理,符合半导体设备无尘车间洁净使用标准。
3. 高适配通用装配结构
标准化双端定位孔 + 中部安装基准孔设计,兼容匀气盘、流体阀组、真空管路等多类半导体配件,可快速配套各类薄膜、刻蚀设备产线改造与新机装机。