精准控制微孔的形状、尺寸与内壁表面质量,可加工最小孔径 0.014inch,严格把控孔径公差、同轴度,可实现一阶至三阶孔加工,孔内粗糙度可控制在 0.4μm 以内;搭配 AOI 检测设备完成精度核验。
该工艺可加工匀气盘、电极板零部件,适配蚀刻设备、薄膜沉积设备,同时可拓展至流体元件、医疗配件、自动化精密零件等领域。
精准控制微孔的形状、尺寸与内壁表面质量,可加工最小孔径 0.014inch,严格把控孔径公差、同轴度,可实现一阶至三阶孔加工,孔内粗糙度可控制在 0.4μm 以内;搭配 AOI 检测设备完成精度核验。
该工艺可加工匀气盘、电极板零部件,适配蚀刻设备、薄膜沉积设备,同时可拓展至流体元件、医疗配件、自动化精密零件等领域。