等离子喷涂技术

      采用直流电源驱动，利用电弧产生高温等离子体，熔融陶瓷粉末在基材表面形成防护涂层。

      涂层化学稳定性强，具备优异的耐腐蚀性、绝缘性、高洁净度。

      工艺主要用于半导体刻蚀设备内衬套件，适配 PECVD、离子注入设备，可抵御 CF4、SF6、Cl₂、HBr 等卤素等离子体腐蚀，也可拓展至精密流体件、自动化零部件表面强化加工，提升工件使用寿命。