高洁净度精密清洗技术

      依托无尘清洗车间，对零部件开展精细化除污处理。清洗后的工件可通过 LPC 液态粒子检测、ICP 金属元素检测以及荧光测试，工件表面无多余荧光颗粒，满足严苛洁净标准。

      主要服务于腔体内工艺件、涂层件、镀镍零件，适配刻蚀设备、薄膜沉积设备；同时可承接各类精密机加工配件清洗，去除表面微颗粒、金属杂质，规避杂质污染，保障半导体设备运行稳定性。