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高纯工艺气控制阀
适配刻蚀、PVD、PECVD 设备特气管路，精准管控工艺气体通断，保障真空制程气流洁净稳定。
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高纯旋转快插阀接头
适配刻蚀、PECVD、PVD 设备特气管路，可 360° 旋转调节管路角度，实现高纯气体无泄漏稳定输送。
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