回旋机构支撑板

适配半导体刻蚀、薄膜沉积设备内部回旋载台总成，作为晶圆旋转机构的核心隔离支撑基板。超大异形一体化镂空避让腔为回旋转盘预留充足运动空间，板面分区孔位集成驱动电机、真空管路、检测传感器安装基准，隔离腔体与旋转模组，规避运动干涉，保障晶圆匀速旋转镀膜、刻蚀工艺稳定，适配高洁净真空晶圆生产线配套。

产品三大核心特点

整体铣削成型一体式超大不规则镂空区域，完全匹配晶圆回旋转盘轮廓，彻底规避旋转运动干涉，板体平面刚性均衡，长期高速回转工况无共振形变，保证晶圆旋转均匀度。

板面划分驱动安装区、气路通孔区、传感固定区，大尺寸通孔适配电机、管路穿装，精密沉头螺纹孔定位传感器组件，分区集成无需额外转接件，简化回旋机构装配流程。

镂空内壁、板角、螺纹孔内壁全部深度交叉去毛刺、钝化抛光，无积尘锐边与金属碎屑；支持阳极氧化耐磨防腐处理，杜绝微粒掉落污染晶圆，满足半导体超高洁净真空车间使用标准。