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呼气填充泵安全阀2 呼气填充泵安全阀2
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高纯旋转快插阀接头

适配刻蚀、PECVD、PVD 设备特气管路,可 360° 旋转调节管路角度,实现高纯气体无泄漏稳定输送。
联系我们 뀠

产品三大核心特点

1. 360° 万向旋转防缠绕结构

不锈钢旋转连接头内置精密密封环,可多角度自由转动,安装时灵活调整管路走向,避免硬管弯折、应力拉扯造成漏气,适配设备狭小腔体空间布线。

2. 高洁净耐腐蚀双材质工艺

接头采用不锈钢精密车铣,阀体做红色硬质阳极氧化处理,全部流道、螺纹孔深度去毛刺抛光,耐腐蚀特种工艺气体,无金属微粒脱落污染晶圆。

3. 高压无泄漏密封装配设计

标准化外螺纹快插接口,多层密封圈复合密封结构,可承受半导体特气高压输送工况,拆装便捷,兼容主流流体阀、分配模组快速对接集成。

ꄴ前一个: 高纯工艺气控制阀
ꄲ后一个: 无
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