高纯工艺气控制阀

产品三大核心特点

1. 高精度气流均衡控制

内部交叉深孔一体化加工，流道尺寸公差精密，气体进出流量一致性优异，有效抑制气流波动，保证晶圆表面薄膜沉积均匀。

2. 高洁净耐腐阳极工艺

主体铝合金金色硬质阳极氧化，全流道、孔内壁深度去毛刺抛光，耐腐蚀性特种工艺气体，无金属粉尘脱落污染硅片。

3. 标准化集成安装结构

端面布局多组标准装配沉孔，可直接拼接集成流体分配模组，结构紧凑易拆装，适配各类半导体薄膜、刻蚀设备气路改造。